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    干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟效益，在這里著重講下干式真空泵怎么進行優(yōu)化選擇?

　　對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。

當(dāng)然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。

而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。

其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。

　　現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點。

一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運行的穩(wěn)定性考慮進去。

因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。

　　綜合考慮，如果用戶認為耗電量對他來說最為重要而氮氣用量對他來說最不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。

但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量變得更重要。如果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過改變來處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。

　　根據(jù)具體情形，綜合以上所有設(shè)計類型的優(yōu)點一定是最理想的選擇，但目前還不太可能。

因此，這就要求使用者首先要知道在干式泵的設(shè)計上有著如此多的不同設(shè)計類型，進而根據(jù)自身工藝特點了解各種不同類型泵的設(shè)計對其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本，而獲得一個壽命較長的穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。

干式真空泵的工作原理：

　　1、干式螺桿真空泵

　　干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

　　2、無油往復(fù)真空泵

　　靠活塞往復(fù)運動使泵腔(氣缸)的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。

　　3、爪式真空泵

　　爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時則排氣完畢，如此循環(huán)工作。

　　4、無油渦旋真空泵

　　渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。